■表面形状測定機による受託計測サービス
■表面形状測定機 サービス概要
表面形状測定機の特徴
本サービスでは光干渉式の非接触表面形状測定機を用いて製品表面の微細な形状をスキャンし、三次元的な表現と寸法・粗さ測定等の評価を行います。
従来の接触式のプローブによる表面形状測定機では線での情報しか得られませんでしたが、非接触式の光干渉による測定では面での情報をも得ることができ、より視覚的な評価を行うことが可能となりました。
またZ方向分解能が0.01nmと超高分解能であることも特徴の一つで、レーザー顕微鏡でも評価し切れなかった測定領域での代替機としても是非ご利用下さい。
●測定原理
光源（LED）からの複数の波長を含む光が、ビームスプリッタによりサンプル表面に向かって進みます。レンズ内のビームスプリッタにより更に二方向の光に分けられた光が、それぞれ参照面、サンプル表面から反射し、レンズ内で重なることにより、干渉を起こします。 干渉強度の情報は、高精度CCDカメラにより取得され、独自の高精度アルゴリズムにより干渉情報から0.01nmの分解能で高さ情報へと変換します。 各ピクセルにて得られた高さ情報を用いて3Dマッピングすることにより、表面状態を精密に表現します。 |
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●特徴
●業界トップクラスのZ分解能0.01nm。
●測定ワークの反射率は0.3～100％までと、様々なワークの表面を測定することが可能。
●一回の測定では測定エリアが足りない場合に、複数面の測定データをつなぎ合わせて解析することができるステッチング機能を搭載。広範囲の測定にも対応。
●測定により得られた面情報に対し、任意のラインでの二次元粗さ評価（ISO/JIS規格）が可能。ISO規格化が予定されている三次元パラメータにも対応しており、三次元パラメータ40種類、二次元パラメータ130種類の表面解析が可能。
●面積・体積等の三次元パラメータ評価解析も可能。
■表面形状測定機 設備紹介
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表面形状測定機 ■メーカー ： テーラーホブソン社 ・分解能 ： Z方向 0.01nm、XY方向 0.33μm |
表面形状測定機 用途例
■はんだボール部（球面形状）
・・・最大高低差2.2mmの範囲まで1視野での測定が可能です。
■5μm高さ基準片（スリット形状）
・・・基準片を使用してのトレーサビリティ確認。
■透明プラスチック定規の印字部（スリット形状）
・・・ステッチング機能を使用して広範囲（7×3mm）の測定を実施。透明なサンプルの測定にも対応
■レーザーマーキング部（凹凸形状）
・・・ツールマーク等の微細な形状も正確にトレース。
表面形状測定機 報告書例
■報告書 出力結果例①
■報告書 出力結果例②
表面形状測定機 Ｑ＆Ａ
Q：サンプルはどの程度のサイズまで測定可能ですか？
A：ステージサイズは250×150×Z80mmになりますので、それ以下のサイズのワークであれば測定可能です。ただし、実際にステージがストローク可能な範囲はXYで110×75mmになります。
Q：重さはどの程度まで対応可能ですか？
A：最大5kgまでになります。
Q：ワークのサイズ・測定箇所に応じてカットもお願いできますか？
A：切断設備を所有しておりますので、樹脂・金属・セラミック等の様々なワークのカットが可能です。
Q：一視野で測定可能な範囲はどれぐらいですか？
A：使用するレンズの倍率によります。以下をご参照下さい。
×10 ・・・ 1.65×1.65mm
×20 ・・・ 0.825×0.825mm
×50 ・・・ 0.33×0.33mm
（※ステッチング機能を用いることで、複数面の測定データをつなぎ合わせて、より広範囲な解析を行うことも可能です。）
Q：ラインプロファイルの座標データ（生データ）をもらうことはできますか？
A：テキストデータで出力し、お渡しすることが可能です。そのデータを輪郭形状測定機に取り込んで、幅・高さ・角度・R等の測定を行うことも可能です。
表面形状測定機 関連項目
- 表面粗さ測定機（接触式）
- 形状測定機
- 倣い測定サービス
- 非接触三次元測定サービス
- 金型測定サービス
- 基板測定サービス
- マイクロスコープ
- 走査電子顕微鏡
表面形状測定機 お問合せの前に
- ・評価内容（粗さ測定、寸法測定、形状評価 etc.）
- ・測定ワークの材質・構造・サイズ・数量
- ・測定ワークの切断・破壊の可否
- ・測定結果の報告書形式