エイキット株式会社・分析サービス事業部
X線CT観察サービス｜X線CT観察を用いて製品の内部状態を非破壊で立体的に観察・検査します

■X線CT観察サービス

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■X線CT観察　サービス概要

サービス概要

X線CT観察は試験体の内部構造状態を、非破壊で三次元的に（立体的に）観察・検査・計測することができます。

3Dデータとして構築されたX線CT像からは、ボイドの位置関係の確認、勘合部のはめ合いの確認、ダイカスト品の巣の体積計算など、様々な評価を行うことが可能です。

 

サービスの詳細

高出力X線管による大型製品の観察

最大でφ500×500mmまでのサンプルが観察可能なため、サンプルを破壊することなく内部構造を確認することが可能です。
（※材質によってX線の透過量が異なりますので、観察可能なサイズも変わります。）
かつミクロンオーダーの焦点寸法により、鮮明で解像度の高い画像を得ることができます。

高出力X線管による大型製品の観察

 

多彩な画像処理

  • ・任意の位置での断面観察が可能です。
  • ・最小厚み10μmのスライス画像の作成が可能です。
  • ・母材部を透かしてスケルトン表示にすることで、特定箇所やマーキングした部分を際立たせることが可能です。
  • ・3Dカラーイメージ表示、擬似カラー表示など、画像に色合いをつけることで、評価目的にあった観察を行うことが可能です。
  • ・連続したスライス画像を動画として構築することが可能です。

多彩な画像処理

 

各種の寸法測定機能

寸法測定、面積測定、体積測定の実施が可能です。
一部の装置では、誤差がコンマ台（数百μm）程度の寸法測定を行うことも可能です。（※TOSCANER-32250μhd）

各種の寸法測定機能

 

 

X線の性質とX線CT観察の原理

X線は電波や太陽の光と同じ電磁波の一種です。
電磁波は空気中や物質の中を一定の波長を打ちながら直進する性質があります。また波長が短いため物質を透過する性質を持ち、密度の高いものは透過しにくく、逆に低いものは透過しやすいと言った性質があります。

X線管から発生したX線を照射しながら、試料を360°回転させます。透過したX線をI.I.管にて可視光像に変換し、360°分の透視画像データを取り込みます。
その2D画像データをソフト上で再構成・計算を行うことで、3D画像を構築します。

X線の性質とX線CT観察の原理

 

 

 

■X線CT観察　設備紹介

 

サブミクロンフォーカスX線検査装置：
XiDAT XD7600NT（Dage製）

・焦点寸法：　0.25μm
・X線管電圧：　160kV（最大）
・X線管電流：　0.2mA（最大）
・I.I管最大傾斜：　70°/ サンプルを中心に360°回転
・試料テーブル寸法（透過）：　508×444mm
・最大撮影領域（透過）：　458×407mm
・最大サンプル重量（透過）：　5kg
・最大試料寸法（CT）：　φ140×100mm
・最大撮影領域（CT）：　φ40×40mm
・最大サンプル重量（CT）：　200g
　 ※CTは専用治具が必要な場合あり
・付属機能：　寸法測定、面積計算、プログラム自動撮影、CT撮影


高性能マイクロCT：TOSCANER-32250μhd　（東芝製）

・焦点寸法：　4μm
・X線管電圧：　225kV（最大）
・X線管電流：　0.62mA（最大）
・I.I管(検出器）：　6/9/12インチ（3段切り替え）
・最大試料寸法（透過）：　1500×500×500mm
・最大試料寸法（CT）：　φ500×H500mm（CT)
・最大撮影領域（CT）：　A4サイズ
・最大サンプル重量：　20kg
・付属機能：　寸法測定、面積計算、体積計算、CT撮影

 

 

■X線CT観察　用途例

チップ部品・BGA・ワイヤーボンディング等、各種電子デバイスの接合状態（断線・ボイド・接触）の確認

チップ部品・BGA・ワイヤーボンディング等、各種電子デバイスの接合状態（断線・ボイド・接触）の確認

アルミ鋳造品のボイド観察・体積計算

 

部品の勘合状態の確認（かしめ状態）

脂内フィラーの配向の観察（一部可）

製品内部のワイヤーの断線確認

コイルの巻き線の状態確認

コイルの巻き線の状態確認

樹脂成形品の内部ボイド検査

樹脂・セラミックの内部異物検査

■X線CT観察　報告書例

 

表紙

報告

結果

基板で導通不良が発生したため、カットせずにそのままの状態でX線CTスキャンを実施しました。
3D画像データからワイヤーボンディングの断線が確認できました。

 

■X線CT観察　Q&A

Q：X線CT像はどの様に撮影するのですか？

A：サンプルを保持して微小な角度ずつ回転させ、その都度X線透過像を撮影します。
それらを画像処理により3D像に合成することで、任意断面での観察やスライス像の作成が可能となります。

 

Q：CT像のデータはどのような形でもらえるのですか？

A：撮影した画像は静止画ファイル（断面写真・スライス写真）としてだけでなく、連続写真として動画ファイルとしてもご提出可能です。

 

Q：どんな物（材質・サイズ）でもX線CT撮影は可能ですか？

A：X線の透過量は材料の密度と厚みに依存します。
厚みが厚く密度が高いものは透過しにくく、厚みが薄く密度が低いものは透過しやすくなります。よって、銅や鉄などの重金属の内部は観察が難しくなります。
目安なりますが、鉄系の試料で総厚み20mm程度、アルミ系の試料で総厚み100mm程度、樹脂系の試料で総厚み数百mm程度までの透過観察が可能です。
トライ観察も行っておりますので、まずはご相談下さい。

 

Q：X線透過像での寸法測定は可能ですか？

A：寸法測定の実施は可能ですが、測定機能自体に特化しておりませんので、コンマ台（数百μm）の誤差を含んだ測定値になります。

 

Q：面積計算・体積計算は可能ですか？

A：ボイドなどの面積計算・体積計算は可能ですが、装置の特性上、測定値は目安程度にお考え下さい。

Q：立会いでの観察は可能ですか？

A：ご対応可能です。お客様の立会い・ご指示のもと、観察作業を実施致します。

 

X線透過撮影とX線CT撮影の違いは？

Ａ：X線透過撮影は、一方向からの2次元的な透過画像となります。
X線CT撮影は、サンプルを回転させて360°分のX線透過画像を取り込みます。その画像をソフトで構築することで、立体的（3次元的）な表現が可能になります。

 

 

■X線CT観察　関連項目

【観察・分析】

 

■X線CT観察　お問合せの前に

  • ・観察・評価の目的
  • ・観察箇所・条件の指定
  • ・試料の情報（サイズ／数量／重量／材質／構造・状態）
  • ・試料の取り扱いの注意点
  • ・アウトプットデータの形式

 

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