■表面元素分析装置
■表面元素分析装置 サービス概要
表面元素分析装置の概要
表面元素分析装置による分析サービスは、表面元素分析の中でもEDX（エネルギー分散型X線分析法）とWDX（波長分散型X線分析法）による分析を主としています。
分析目的、対象元素、試料状態、試料に与える影響等から分析装置・方法を選択して、ご依頼内容に対して最適なデータを提供致します。
異物の成分分析、未知試料の組成分析、合金層における各元素の分布状態の確認、付着物のカラーマッピング、鋼材の材料判別、有害物質の定量分析など、試料調整（試料の切断・研磨・蒸着等）を含めた各種の元素分析のご対応が可能です。
表面元素分析装置の詳細
◆EDX（エネルギー分散型分析法）
EDX（エネルギー分散型Ｘ線分析法）は電子線を試料に当てて励起される特性Ｘ線のエネルギーを測定することにより得られるスペクトルから、試料表面の元素の定性・定量分析を行います。
- ・ミクロンオーダーの分析空間分解能（※SEM）
- ・1,000ppmオーダーの定量精度（※元素により異なります）
- ・多元素同時測定による短時間での分析
- ・低真空モードでの分析
◆FE-EPMA（電界放射型電子プロ―ブマイクロアナライザ）
FE-EPMA（電界放射型電子プローブマクロアナライザ）はWDX（波長分散型X線分析法）タイプの元素分析になり、FE型（電界放射型）の電子銃によりサブミクロンオーダーの分解能の観察・分析が可能です。
- ・サブミクロンオーダーの分析・観察空間分解能
- ・100ppmオーダーの定量精度（※元素により異なります）
- ・微量元素・軽元素の高感度検出
◆XRF（蛍光X線分析装置）
XRF（蛍光X線分析装置）はWDXタイプとEDXタイプの2種類の分析法があり、高精度・高感度な定性・定量分析を行うことが可能です。
- ・測定最小径：WDXタイプ⇒φ5mm、EDXタイプ⇒φ1.2mm
- ・最大搭載試料サイズ：WDXタイプ⇒φ50×H30mm、EDXタイプ⇒W400×D360×H140mm
- ・100ppmオーダーの定量精度（※分析法・元素により異なります）
- ・微量元素・軽元素の高感度検出
表面元素分析装置 一覧
- EDX（エネルギー分散型分析装置）
- FE-EPMA（電界放射型電子プローブマイクロアナライザ）
- 蛍光X線分析装置（XRF）
- 蛍光X線分析装置（EDX-＆WDX-XRF）